將目標(biāo)物放置到座標(biāo)臺(tái)上,按下按鈕即可輕易實(shí)現(xiàn) ±0.1 μm 的高精度測(cè)量。 具備3種測(cè)量方式,有超高精細(xì)相機(jī)的高精度圖像測(cè)量、彩色激光的非接觸式高度測(cè)量,以及三坐標(biāo)接觸探頭的接觸式測(cè)量。 對(duì)于形狀復(fù)雜的目標(biāo)物,測(cè)量尺寸的時(shí)間大幅縮短,測(cè)量精度高,不會(huì)因測(cè)量者而出現(xiàn)偏差。
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