型號

CL-L007N^*1

CL-L015N^*1

CL-L030N^*1

CL-L070N^*1

CL-L150N^*1

圖像

類型

光學(xué)單元

探頭

CL-L007 ^*1

CL-L015 ^*1

CL-L030 ^*1

CL-L070 ^*1

CL-L150 ^*1

基準(zhǔn)距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定范圍

測量范圍

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 35 mm

直線性

± 2.1 μm ^*2

± 0.49 μm ^*2

± 0.94 μm ^*2

± 2.2 μm ^*2

± 5.65 μm ^*2

高精度測量范圍

測量范圍

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 15 mm

直線性

± 0.91 μm ^*2

± 0.41 μm ^*2

± 0.72 μm ^*2

± 2.0 μm ^*2

± 4.65 μm ^*2

分辨率

0.25 μm ^*3

光點直徑

? 750 μm

? 300 μm

? 500 μm

? 600 μm

? 1000 μm

激光級別

光學(xué)單元

Class 1

采樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段可調(diào))

環(huán)境抗耐性

保護結(jié)構(gòu)

探頭

IP67(IEC60529)

環(huán)境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

環(huán)境溫度

0 至 50℃

相對濕度

85％ RH 以下（無凝結(jié)）

耐振動性

探頭

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

光學(xué)單元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

耐沖擊性

15G 6 ms

溫度特性

探頭

0.005% of F.S. /℃

光學(xué)單元

0.015% of F.S. /℃

材質(zhì)

探頭

SUS

前部：SUS 后部：鋁合金

光學(xué)單元

聚碳酸酯

重量

探頭

約 140 g

約 180 g

約 200 g

約 280 g

約 380 g

光學(xué)單元

約 1600 g

型號

CL-P007N^*1

CL-P015N^*1

CL-P030N^*1

CL-P070N^*1

CL-P150N^*1

圖像

類型

光學(xué)單元

探頭

CL-P007 ^*1

CL-P015 ^*1

CL-P030 ^*1

CL-P070 ^*1

CL-P150 ^*1

基準(zhǔn)距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定范圍

測量范圍

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 35 mm

直線性

± 0.96 μm ^*2

± 0.49 μm ^*2

± 0.94 μm ^*2

± 2.2 μm ^*2

± 5.65 μm ^*2

高精度測量范圍

測量范圍

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 15 mm

直線性

± 0.55 μm ^*2

± 0.41 μm ^*2

± 0.72 μm ^*2

± 2.0 μm ^*2

± 4.65 μm ^*2

分辨率

0.25 μm

光點直徑

? 50 μm

? 25 μm

? 38 μm

? 50 μm

? 75 μm

激光級別

光學(xué)單元

Class 1

采樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段可調(diào))

環(huán)境抗耐性

保護結(jié)構(gòu)

探頭

IP67(IEC60529)

環(huán)境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

環(huán)境溫度

0 至 50℃

相對濕度

85％ RH 以下（無凝結(jié)）

耐振動性

探頭

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

光學(xué)單元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

耐沖擊性

15G 6 ms

溫度特性

探頭

0.005% of F.S. /℃

光學(xué)單元

0.015% of F.S. /℃

材質(zhì)

探頭

SUS

前部：SUS 后部：鋁合金

光學(xué)單元

聚碳酸酯

重量

探頭

約 140 g

約 180 g

約 200 g

約 280 g

約 380 g

光學(xué)單元

約 1600 g

型號

CL-S015N^*1

CL-V020N^*1

CL-V050N^*1

CL-PT010N^*1

圖像

類型

光學(xué)單元

探頭

CL-S015 ^*1

CL-V020 ^*1

CL-V050 ^*1

CL-PT010 ^*1

基準(zhǔn)距離

15 mm

20 mm

50 mm

10 mm

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定范圍

測量范圍

± 1.0 mm

± 1.3 mm

± 4 mm

± 0.3 mm

直線性

± 0.35 μm ^*2

± 0.45 μm ^*2

± 1.4 μm ^*2

± 0.22 μm ^*2

高精度測量范圍

測量范圍

? 0.2 mm/? 1.0 mm

± 0.5 mm

± 1.6 mm

± 0.15 mm

直線性

± 0.25 μm ^*2

± 0.38 μm ^*2

± 1.3 μm ^*2

± 0.2 μm ^*2

分辨率

0.25 μm ^*3

光點直徑

? 10 μm

? 20 μm

? 40 μm

? 3.5 μm

激光級別

光學(xué)單元

Class 1

采樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段可調(diào))

環(huán)境抗耐性

保護結(jié)構(gòu)

探頭

IP50

IP40　真空用除氣結(jié)構(gòu) ^*5

IP64(IEC60529)

環(huán)境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

使用環(huán)境溫度

探頭

-20 至+70°C

-20 至+200°C

0 至+50°C

光學(xué)單元

0 至+50°C

相對濕度

85％ RH 以下（無凝結(jié)）

耐振動性

探頭

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.45 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

光學(xué)單元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

耐沖擊性

15G 6 ms

真空

支持真空

支持超高真空 ^*6

無

溫度特性

探頭

0.005% of F.S. /℃ ^*4

0.013% of F.S. /℃ ^*4

0.015% of F.S. /℃ ^*4

0.1% of F.S. /℃ ^*4

光學(xué)單元

0.015% of F.S. /℃

材質(zhì)

探頭

SUS303/304

SUS304

前部：SUS 后部：鋁合金

光學(xué)單元

聚碳酸酯

重量

探頭

約 350 g

約 100 g

約 1100 g

光學(xué)單元

約 1600 g